二手新航16B半导体行业双面平磨机 硅片抛光机 研磨机1.传动系统结构新颖、运行高效、稳定;
2.上盘自动找平,无需人为干预;
3.主承载轴承采用循环稀油润滑及冷却,大大延长其寿命和热稳定;
4.主减速器油采用“透析原理”降温及过滤,整机温升低;
5.内齿圈采用电动升降,平稳细腻;
6.成套大型专用装备生产,铸件完全退火,精密稳定;
7.比例阀、人机界面、变频器与PLC通讯,构建强大人性化的操控系统,实现实时恒压力设定与控制。磨盘转速: 0~60rpm
游行轮参数:公制M=3,Z=154,a=20°
游行轮数量:5个
最小研磨厚度:5/Φ200mm,0.4/Φ150mm
最大可控研磨厚度:20mm(可根据要求特殊定制)
最大研磨直径:Φ400mm
主电机:15KW4级三相AC380V
太阳轮电机:1.5KW4级三相AC380V
内齿圈电机:1.5KW4级三相AC380V
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