二手瑞德硅片(4寸-6寸-8寸-12寸)专用高精密抛光机-研磨机设备主要配置
· 机器采用三电机驱动,主电机驱动下盘和齿圈,上盘、太阳轮分别由电机单独驱动,电机均采用变频电机,实现平稳的停止、加速、减速及换向;
· 机架采用龙门式结构,刚性好,承压能力强,能满足高负载下高速稳定运行;
· 齿圈升降结构由气缸驱动含斜面的抬升套旋转,实现齿圈升降;
· 上盘下降过程中,设置了快降和缓降,缓降行程在气缸行程范围内可调,缓降速度也可根据工件抗冲击程度自由调整;
· 为了满足不同用户的特殊需要,该机的内齿圈和太阳轮的速度分别可调,调整速度实现游星轮的正、反转;通过游星轮正转和反转,实现盘面的修研。
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