本公司现转让2台台湾进口镀膜机,型号:PEVA-900E 配置有:分子泵,深冷泵,进口机械泵,精控 设备保养的相当好 还有生产线上使用上的设备,欢迎来工厂看设备
产品功能
在高真空的空腔中,使用电子束(E-Beam)照射的方式加热材料至材料蒸发让材料附着于晶圆的表面形成薄膜层
主要应用:
1运转方式:公转/公自转镀膜
2晶圆尺寸:对应2”,4”,5”,8”晶圆
3运用材料:矽片(silicon)、蓝宝石(sapphire)、玻璃(Glass)、氮化镓(GaN)、砷化镓(GaAs)4应用功能:LED Lift off、Power device BGBM、一般me<x>tal Coating于SiO2光学镀膜也都适用。
产品特色:
1支持多层膜工艺,膜厚均匀性<±3%
2高镀率蒸镀制程利于超厚薄膜制备
3特殊设计的夹具,可满足薄片制程(<100微米)
4帮助用户解决工艺难题,协助用户进行技术开发
5支持电脑整合生产系统CIM配置:分子泵,深冷泵,进口机械泵,精控
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