二手日本光驰1300MM 1550MM真空镀膜机
用途:此真空镀膜机是镀制防污膜(AS膜)及防反射膜+防污膜(AF+AS膜)型光学镀膜机,应用于镀膜机等所配的触摸屏。真空中制备膜层可防止膜料和镀件表面的污染,消除空间碰撞,提高镀层的致密性和可制备单一化合物的特殊功能的镀层。为了提高镀层厚度的均匀性,运动模式的膜均匀性好,镀层的台阶覆盖性能好,承载能力大,可充分利用有效空间的真空镀膜室,是一个运动的常用模式。排气系统一般由机械泵,扩散泵,管道和阀门组成。为了提高泵的流量,可以添加增压器之间的机械泵和扩散泵。因此,不仅在较短的时间内低压力以保证快速的工作循环的排气系统,还需要确保气体的蒸发源和蒸镀工件表面产生快速的去除。蒸发系统包括电气设备和加热蒸发源蒸发源。电气设备包括测量真空薄膜的厚度和控制
3.特征:磁密封驱动的基板旋转式可得到稳定和均匀的膜厚分布
4.配备:配备RF离子源以提高膜的耐摩擦性;用于防污膜(AS 膜)批量生产;防污膜(AS 膜)批量生产。
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