二手日本光驰红外晶体镀膜机/滤光片光学电镀机/真空镀膜机1300MM介绍型号 OTFC1300C
序列号 S0019
双 JST-10F-2GUN
坩埚点数 24点+28点
机械升压泵 EH500
冷泵 冷冻U20P*2台
离子源(射频离子源) 有
光学观测(光控&精控) 有
基板加热heater 有
回转 中心回转
阻蒸 无
光驰OTFC1300
型号 OTFC1300DB
序列号 SO567
双 JST-10F-2GUN
坩埚点数(环型)
旋转泵 24穴
扩散泵 22*2台
冷冻泵 PolcoldPFC-670HC
离子源(射频离子源) 无
光学观测有无(光控&精控) 有
基板加热heater有无 有
回转 中心回转
阻蒸 无
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