二手南光1100/1300MM光学镀膜机 真空镀膜机 电镀机介绍
特点:
1.大抽速真空系统加配深冷装置,动态真空能力,满足高效率生产的要求。
2.装载量更大,如需镀制大尺寸平面产品,可配备平面夹具
3.配备为该系列镀膜机特殊设计的单电子,可使膜料面平整无坑、确保蒸发分布稳定。
4.可配置在线反射率监控系统,产品一致性好。
产品参数
德国莱宝 型号:APS1104 空空室尺寸:1100*1200MM
:温度-135℃,抽速90000L/S,功率7.5KW
真空性能:极限5×10-4Pa,抽速:大气到5×10-3Pa小于10分钟,升压时间:1×10-3Pa到1×10-1Pa大于10分钟
转动夹具:球面或平面,5-20转/立式公转夹具
电子枪:单双/电阻+磁控溅射
离子源:矩形离子源
晶体膜厚仪:SQC-310(全中文操作界面)
宽光谱监控:400-1200nm多片反射
适用范围
用于生产IR-CUT滤光片、分色滤光片、高反射膜、AR膜、长波通、短波通和多种电学薄膜
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