二手进口日本SPEEDFAM创技30B双面抛光机/双面研磨机
公司有多台日本(HAMAI)28B,日本创技(SPEEDFAM)16B、18B、20B、21B、28B、40B双面研磨抛光机
将硅单晶棒切成所需形状的硅片(如圆片)。分外圆切割、超声切割、电子束切割和常用的内圆切割。 在研磨机上,硅片用白刚玉或金刚砂研磨成一定厚度和光洁度的工艺。有两种方法:单面研磨和双面研磨。 为了制备符合设备和集成电路生产要求的硅片表面,必须抛光以去除残留损伤层并获得一定厚度的高平整度。抛光分为机械抛光、化学抛光、电子束抛光子束抛光和离子束抛光。化学机械抛光分为铜离子抛光、铬离子抛光和常用的二氧化硅胶体抛光。二氧化硅胶体抛光是由极细的二氧化硅粉、氢氧化钠(或有机碱)和水制成的。在抛光过程中,氢氧化钠与硅表面反应为天然硅酸钠。通过与二氧化硅胶体的研磨,硅酸钠进入抛光液,同时实现抛光的目的。可采用一次抛光、二次抛光(粗抛光和精抛光)或三次抛光(粗抛光、中间抛光和精抛光)。为了满足超大型集成电路对表面质量和平整度的要求,无蜡抛光、无磨料抛光等新工艺。
此贴长期有效，联系我时，请说明是从处理网看到的。
