产品名:OTFC-1550DBI 型式:1500DBI
原装高配OTFC-1550光驰机(年份:2015. 11
日本电子16P双枪,23 寸光驰RF离子源
275机械泵+爱德华配套罗茨泵
HOM2R-VIS350A光学膜厚监控仪
XTC/3+6点式水晶传感器
1.产品参数:
真空室中1550 X 1800mm(H)
工件架φ1400mm工件架转速10rpm to 30rpm (可变)
光学膜厚控制HOM2- R-VIS350A
波长范围:350nm to 1100nm 光学膜厚监控仪反射式/透射式
水晶式膜厚计XTC/3+6点式水晶传感器
蒸发源电子枪2套
离子源17cmRF 离子源
机械泵:排气系统2个扩散泵Polycold(或2 个冷凝泵)
2.性能:达到压力7.0X10-5Pa以下排气时间20分 (大气压,1.3X10- 3Pa)基板温度最高:350
3.设备尺寸:约5500mn(W) X 7200mm()X3700mm(H) 3相, 200v, 50/60Hz,
4.电源约120KVA 水流量180 升/分以上 空气压力0. 5MPa以上
5.重量约11000kg
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